Automatikos terminų žodynas. – Vilnius: Technika. Vilius Antanas Geleževičius, Angelė Kaulakienė, Stanislovas Marcinkevičius. 2004.
optical step-and-repeat camera — žingsninis fotokartotuvas statusas T sritis automatika atitikmenys: angl. optical mask stepper; optical step and repeat camera vok. Step and Repeat Schrittweiser Kamera, f rus. шаговый фотоповторитель, m pranc. photorépétiteur pas à pas, m … Automatikos terminų žodynas
Stepper (Halbleitertechnik) — Stepper (links:MA 6) und Mask Aligner (rechts: MJB3) unter photochemisch unwirksamer Beleuchtung („Gelblicht“) Ein Stepper (auch Wafer Stepper) ist in der Halbleitertechnik ein Anlagentyp bzw. ein Funktionsprinzip für die fotolithografische… … Deutsch Wikipedia
Stepper — A stepper is a device used in the manufacture of integrated circuits (ICs) that is similar in operation to a slide projector or a photographic enlarger. Steppers are an essential part of the complex process, called photolithography, that creates… … Wikipedia
Step-and-Repeat-Schrittweiser-Kamera — žingsninis fotokartotuvas statusas T sritis automatika atitikmenys: angl. optical mask stepper; optical step and repeat camera vok. Step and Repeat Schrittweiser Kamera, f rus. шаговый фотоповторитель, m pranc. photorépétiteur pas à pas, m … Automatikos terminų žodynas
photorépétiteur pas à pas — žingsninis fotokartotuvas statusas T sritis automatika atitikmenys: angl. optical mask stepper; optical step and repeat camera vok. Step and Repeat Schrittweiser Kamera, f rus. шаговый фотоповторитель, m pranc. photorépétiteur pas à pas, m … Automatikos terminų žodynas
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шаговый фотоповторитель — žingsninis fotokartotuvas statusas T sritis automatika atitikmenys: angl. optical mask stepper; optical step and repeat camera vok. Step and Repeat Schrittweiser Kamera, f rus. шаговый фотоповторитель, m pranc. photorépétiteur pas à pas, m … Automatikos terminų žodynas
Photolithography — For earlier uses of photolithography in printing, see Lithography. For the same process applied to metal, see Photochemical machining. Photolithography (or optical lithography ) is a process used in microfabrication to selectively remove parts of … Wikipedia
Computational lithography — (also known as computational scaling) is the set of mathematical and algorithmic approaches designed to improve the resolution attainable through photolithography. Computational lithography has come to the forefront of photolithography in 2008 as … Wikipedia
Photomask — A photomask. A schematic illustration of a photomask (top) … Wikipedia
